Exklusiver Live-Stream direkt von der World of Trading - 2 Tage mit einzigartigen Themen und Experten. Kostenlos teilnehmen + Videos erhalten. -w-
22.03.2013 09:00:00

Shimadzu Corporation hat das Antireflex-Beschichtungssystem MCXS und das Zelleninspektionssystem für die SCI-Serie eingeführt: bieten Unterstützung bei der Herstellung von Solarzellen

Shimadzu Corporation (TOKYO: 7701) hat heute das Antireflex-Beschichtungssystem MCXS und zwei SCI-Serien-Zelleninspektions-Systemmodelle für den Produktionsprozess mit kristallinen Siliziumsolarzellen eingeführt.

Plasma CVD system for the deposition of anti-reflective coating on crystalline silicon solar cells:  ...

Plasma CVD system for the deposition of anti-reflective coating on crystalline silicon solar cells: Shimadzu's MCXS is capable of forming anti-reflective coating that are highly resistant to PID at high throughput and low running costs. (Photo: Business Wire)

[Hintergrund der Entwicklung]

Die Nachfrage im Solarzellenmarkt in China steigt. Das Land hat Vorzugsbehandlungen eingeführt, um Bereiche der Nachfrage zu sichern und örtliche Unternehmen zu fördern. Auch in den USA und Indien, wo gute Rahmenbedingungen für Solarenergiesysteme bestehen, steigt die Nachfrage, wie auch in Japan, wo Einspeisetarife für erneuerbare Energie eingeführt wurden. Langfristig wird starkes Wachstum im Energiebedarf aufgrund des Wirtschaftswachstums und der verbesserten Lebensbedingungen in den Entwicklungsländern die Nachfrage nach Solarenergie in Regionen mit hoher Sonneneinstrahlung steigen lassen, beispielsweise in Afrika, dem Nahen und Mittleren Osten, in Südamerika und Südostasien. Die Prognose für 2030 lautet, dass die gesamte Abgabe auf 128.600 MW steigen wird, auf einen Wert, der um das 3,2-fache über dem Niveau von 2012 liegt.*1

Diese Situation erfordert niedrigere Fertigungskosten und einen hohen Grad an Widerstand gegenüber Potentialinduzierter Degradation (PID), woraus sich Probleme mit verringerter Leistungsabgabe aus Megasolar- und anderen Solarenergiesystemen ergeben können.
Diese Probleme müssen auch an der Antireflex-Beschichtung und den entsprechenden Ablagerungssystemen behoben werden, die die Reflexion des Sonnenlichts unterdrücken und die Energieabsorption steigern und damit zu einer effizienteren Energieerzeugung beitragen. Von diesen Komponenten wird ein hohes Leistungs- und Produktivitätsniveau erwartet.
Shimadzu verwendet eine neu entwickelte Hohlkathoden-Plasmaquelle und die Direktplasmamethode, um das MCXS-Plasma-CVD-System herzustellen, das eine Antireflex-Beschichtung mit hohem Widerstand gegenüber PID bei hohem Durchsatz und zu niedrigen Betriebskosten bilden kann. Das System trägt durch die Beseitigung von Kristalldefekten auf der Oberfläche und im Innern des Substrats mit einem hochdichten Plasma und die Verbesserung der Leistung von Solarzellen zu einer höheren Konvertierungseffizienz bei.
Dank der hochgradigen Ablagerung, die mit niederfrequentem, hochdichtem Plasma erzielt werden, bieten die kristallinen Silizium-Solarzellenmodule, die mit dem MCXS-System hergestellt werden, einen hohen PID-Widerstand. Dies wurde mit den Nachweisprüfungen aus der Phase II-Konsortiumsstudie zur Herstellung und Charakterisierung von Solarzellenmodulen mit langem Leben und hoher Zuverlässigkeit bewiesen, die das National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) erstellt hat.

Auf der anderen Seite wird der Wettbewerb um die Qualität von Solarzellen immer härter. Zum Erreichen einer stringenteren Qualität bei gleichzeitiger Steigerung der Produktivität besteht ein starker Bedarf nach Automatisierung der Inspektionsprozesse, die derzeit in der Produktionsphase der Solarzellen manuell erfolgen.
Shimadzu hat das neue SCI-8SM Verbundsstoff-Inspektionssystem entwickelt, um diese Nachfrage zu erfüllen. Dieses System führt simultan Inspektionen der Mikrorisse und des Äußeren des Wafers in einem einzelnen System aus. Als weiteres System wurde das SCI-8S Außeninspektionssystem entwickelt, das kompakteste Instrument in diesem Bereich*2.
Diese Inspektionssysteme tragen dazu bei, langwierige Produktionsunterbrechungen aufgrund von Ausfällen in der Fertigungsstraße zu vermeiden, und die Rendite zu erhöhen.

Durch die Einführung dieser drei Systeme im stetig wachsenden Solarzellenmarkt trägt Shimadzu zur allgemeinen Verbreitung umweltfreundlicher erneuerbarer Energien bei.

*1: Untersuchung durch Fuji-Keizai; *2: Untersuchung durch Shimadzu

[Merkmale von MCXS]

1. Nachweis von hohem PID-Widerstand
Diese von AIST ausgeführten Tests wurden während 168 Stunden bei 25 °C ausgeführt, wobei das Modul-Abdeckungsglas in Wasser untergetaucht wurde, und eine Spannung von 1.000 V anlag. Diese Ergebnisse enthalten keinen Hinweis auf einen Abfall in der Leistungsabgabe von Solarzellenmodulen, die vom Shimadzu-System mithilfe von Abscheidung hergestellt wurden.
Dieses Produkt ist ein Beitrag zur Bereitstellung hochgradig zuverlässiger Solarzellen.

2. Beitrag zur Erweiterung der Solarzellenproduktions-Kapazität
Die neu entwickelte Hohlkathoden-Plasmaquelle generiert hochdichtes Plasma, mit dem die Abbauleistung des Quellgases gesteigert und die höchste Depositionsrate in der Branche (mindestens 100 nm/Minute) mit der Direktplasmamethode erzielt wird. Darüber hinaus erzielt der Inline-Hochgeschwindigkeits-Transportmechanismus einen Durchsatz von über 1.700 Wafern pro Stunde und damit einen höheren Wert als in jedem anderen herkömmlichen System in dieser Klasse, und trägt damit zu einer höheren Produktionskapazität der gesamten Fertigungsstraße bei.

3. Niedrigere Kosten
Das System stellt nicht nur Hochgeschwindigkeits-Deposition und kompaktes Systemdesign über vertikale Substrataufladung her, sondern reduziert auch die Instandhaltungs- und Wartungskosten, da die Zeiträume zwischen den Wartungsarbeiten verlängert werden, die Energieverbrauch gegenüber früheren Systemen auf ein Drittel gesenkt und die Betriebskosten halbiert wurden. Damit handelt es sich um ein energiesparendes Fertigungssystem, das die sich aus der Solarzellenfertigung ergebenden Energiekosten reduziert und die Effizienz der Quellgasverwendung steigert.

[Merkmale von SCI-8SM]

1. Simultane schnelle Inspektionen der Mikrorisse und des Äußeren des Wafers
Das SCI-8SM-Inspektionssystem ist ein Einzelsystem, das unterschiedliche Inspektionen und Messungen verarbeitet, die zuvor von separaten Testinstrumenten ausgeführt wurden, einschließlich der Mikrorissinspektionen (feine Risse im Wafer, die die Konvertierungseffizienz und Rissrate während der Produktion beeinträchtigen), externe Waferinspektionen auf Risse oder Beulen, Inspektionen auf Partikel auf der Antireflex-Beschichtung, der Filmstärke und der Verteilungsmessung. Es ermöglicht sehr kurze Messzeiten von weniger als einer Sekunde pro Wafer.

2. Schnellere Messungen der Filmstärke
Herkömmliche Instrumente verwendeten mehrere Standardproben zum Ausführen von Messungen der Filmstärke. Hierzu waren mehr als fünf Stunden Vorbereitungszeit erforderlich, bevor die Messungen beginnen konnten, einschließlich der Herstellung der Kalibrierungskurve. SCI-8SM setzt Berechnungstechniken ein, die gemäß einem eindeutigen Messprinzip auf der Grundlage optischer Theorie entwickelt wurde und die eine schnelle Berechnung der Filmstärke mithilfe der Reflexionsintensität sichtbaren Lichts ermöglicht. Dieses Merkmal ermöglicht sofortige Messungen, ohne dass eine Vorbereitungszeit erforderlich wäre.

[Merkmale von SCI-8S]

Kompaktestes Instrument der Branche
Ein einzigartiges, speziell entwickeltes optisches System, das die Aberration minimiert, den gleichen hohen Funktionsumfang wie das SCI-8SM bietet, jedoch um 15 Prozent kompakter (nach Volumen) als herkömmliche Instrumente seiner Klasse ist. Es ist das kompakteste Außeninspektionssystem in der Branche.
Es kann in einer neuen Fertigungsstraße installiert oder in beschränktem Raum auf einer bestehenden Fertigungsstraße nachgerüstet werden, um die Waferqualität zu verbessern.

 
Namen:
MCXS-Plasma-CVD-System für die Deposition der Antireflex-Beschichtung auf kristallinen Siliziumsolarzellen
SCI-8SM Verbundsstoff-Inspektionssystem für kristalline Siliziumsolarzellen
SCI-8S Außeninspektionssystem für kristalline Siliziumsolarzellen
 
Preise:
MCXS 170 Millionen Yen (einschließlich automatischem Transportmechanismus, zuzüglich Steuer)
SCI-8SM 10 Millionen Yen (einschließlich Beleuchtungs-Netzanschluss, zuzüglich Steuer)
SCI-8S 5 Millionen Yen (einschließlich Beleuchtungs-Netzanschluss, zuzüglich Steuer)
 
Abmessungen:
MCXS B 4.000 x T 7.500 x H 2.500 mm (Haupteinheit, einschließlich automatischem Transportmechanismus)
SCI-8SM B 306 x T 310 x H 951 mm (Haupteinheit, einschließlich Beleuchtung-Netzanschluss)
SCI-8S B 193 x T 193 x H 315 mm (Haupteinheit, ohne Beleuchtungs-Netzanschluss)
 

Weitere Informationen finden Sie auf der folgenden Seite: MCXS, SCI-Serie

Über die Shimadzu Corporation

Die Shimadzu Corporation wurde 1875 gegründet und gehört zu den führenden Unternehmen in der Entwicklung fortschrittlicher Technologien. Innovationen auf der Grundlage des Prinzips, über Wissenschaft und Technologie einen Beitrag zur Gesellschaft zu liefern, haben beim Unternehmen Tradition. Shimadzu verfügt über ein globales Vertriebs-, Dienstleistungs- und Servicenetzwerk sowie Anwendungszentren auf sechs Kontinenten und kann langjährige Geschäftsbeziehungen mit hochqualifizierten Distributoren in über 100 Ländern nachweisen.

Die Ausgangssprache, in der der Originaltext veröffentlicht wird, ist die offizielle und autorisierte Version. Übersetzungen werden zur besseren Verständigung mitgeliefert. Nur die Sprachversion, die im Original veröffentlicht wurde, ist rechtsgültig. Gleichen Sie deshalb Übersetzungen mit der originalen Sprachversion der Veröffentlichung ab.

Analysen zu Shimadzu CorpShsmehr Analysen

Eintrag hinzufügen
Hinweis: Sie möchten dieses Wertpapier günstig handeln? Sparen Sie sich unnötige Gebühren! Bei finanzen.net Brokerage handeln Sie Ihre Wertpapiere für nur 5 Euro Orderprovision* pro Trade? Hier informieren!
Es ist ein Fehler aufgetreten!

Aktien in diesem Artikel

Shimadzu CorpShs 4 269,00 -0,33% Shimadzu CorpShs