22.03.2013 09:00:00
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Shimadzu Corporation hat das Antireflex-Beschichtungssystem MCXS und das Zelleninspektionssystem für die SCI-Serie eingeführt: bieten Unterstützung bei der Herstellung von Solarzellen
Shimadzu Corporation (TOKYO: 7701) hat heute das Antireflex-Beschichtungssystem MCXS und zwei SCI-Serien-Zelleninspektions-Systemmodelle für den Produktionsprozess mit kristallinen Siliziumsolarzellen eingeführt.
Plasma CVD system for the deposition of anti-reflective coating on crystalline silicon solar cells: Shimadzu's MCXS is capable of forming anti-reflective coating that are highly resistant to PID at high throughput and low running costs. (Photo: Business Wire)
[Hintergrund der Entwicklung]
Die Nachfrage im Solarzellenmarkt in China steigt. Das Land hat Vorzugsbehandlungen eingeführt, um Bereiche der Nachfrage zu sichern und örtliche Unternehmen zu fördern. Auch in den USA und Indien, wo gute Rahmenbedingungen für Solarenergiesysteme bestehen, steigt die Nachfrage, wie auch in Japan, wo Einspeisetarife für erneuerbare Energie eingeführt wurden. Langfristig wird starkes Wachstum im Energiebedarf aufgrund des Wirtschaftswachstums und der verbesserten Lebensbedingungen in den Entwicklungsländern die Nachfrage nach Solarenergie in Regionen mit hoher Sonneneinstrahlung steigen lassen, beispielsweise in Afrika, dem Nahen und Mittleren Osten, in Südamerika und Südostasien. Die Prognose für 2030 lautet, dass die gesamte Abgabe auf 128.600 MW steigen wird, auf einen Wert, der um das 3,2-fache über dem Niveau von 2012 liegt.*1
Diese Situation erfordert niedrigere Fertigungskosten und einen hohen
Grad an Widerstand gegenüber Potentialinduzierter Degradation (PID),
woraus sich Probleme mit verringerter Leistungsabgabe aus Megasolar- und
anderen Solarenergiesystemen ergeben können.
Diese Probleme müssen
auch an der Antireflex-Beschichtung und den entsprechenden
Ablagerungssystemen behoben werden, die die Reflexion des Sonnenlichts
unterdrücken und die Energieabsorption steigern und damit zu einer
effizienteren Energieerzeugung beitragen. Von diesen Komponenten wird
ein hohes Leistungs- und Produktivitätsniveau erwartet.
Shimadzu
verwendet eine neu entwickelte Hohlkathoden-Plasmaquelle und die
Direktplasmamethode, um das MCXS-Plasma-CVD-System herzustellen, das
eine Antireflex-Beschichtung mit hohem Widerstand gegenüber PID bei
hohem Durchsatz und zu niedrigen Betriebskosten bilden kann. Das System
trägt durch die Beseitigung von Kristalldefekten auf der Oberfläche und
im Innern des Substrats mit einem hochdichten Plasma und die
Verbesserung der Leistung von Solarzellen zu einer höheren
Konvertierungseffizienz bei.
Dank der hochgradigen Ablagerung, die
mit niederfrequentem, hochdichtem Plasma erzielt werden, bieten die
kristallinen Silizium-Solarzellenmodule, die mit dem MCXS-System
hergestellt werden, einen hohen PID-Widerstand. Dies wurde mit den
Nachweisprüfungen aus der Phase II-Konsortiumsstudie zur Herstellung und
Charakterisierung von Solarzellenmodulen mit langem Leben und hoher
Zuverlässigkeit bewiesen, die das National Institute of Advanced
Industrial Science and Technology (AIST) erstellt hat.
Auf der anderen Seite wird der Wettbewerb um die Qualität von
Solarzellen immer härter. Zum Erreichen einer stringenteren Qualität bei
gleichzeitiger Steigerung der Produktivität besteht ein starker Bedarf
nach Automatisierung der Inspektionsprozesse, die derzeit in der
Produktionsphase der Solarzellen manuell erfolgen.
Shimadzu hat das
neue SCI-8SM Verbundsstoff-Inspektionssystem entwickelt, um diese
Nachfrage zu erfüllen. Dieses System führt simultan Inspektionen der
Mikrorisse und des Äußeren des Wafers in einem einzelnen System aus. Als
weiteres System wurde das SCI-8S Außeninspektionssystem entwickelt, das
kompakteste Instrument in diesem Bereich*2.
Diese
Inspektionssysteme tragen dazu bei, langwierige
Produktionsunterbrechungen aufgrund von Ausfällen in der
Fertigungsstraße zu vermeiden, und die Rendite zu erhöhen.
Durch die Einführung dieser drei Systeme im stetig wachsenden Solarzellenmarkt trägt Shimadzu zur allgemeinen Verbreitung umweltfreundlicher erneuerbarer Energien bei.
*1: Untersuchung durch Fuji-Keizai; *2: Untersuchung durch Shimadzu
[Merkmale von MCXS]
1. Nachweis von hohem PID-Widerstand
Diese von AIST
ausgeführten Tests wurden während 168 Stunden bei 25 °C ausgeführt,
wobei das Modul-Abdeckungsglas in Wasser untergetaucht wurde, und eine
Spannung von 1.000 V anlag. Diese Ergebnisse enthalten keinen Hinweis
auf einen Abfall in der Leistungsabgabe von Solarzellenmodulen, die vom
Shimadzu-System mithilfe von Abscheidung hergestellt wurden.
Dieses
Produkt ist ein Beitrag zur Bereitstellung hochgradig zuverlässiger
Solarzellen.
2. Beitrag zur Erweiterung der Solarzellenproduktions-Kapazität
Die
neu entwickelte Hohlkathoden-Plasmaquelle generiert hochdichtes Plasma,
mit dem die Abbauleistung des Quellgases gesteigert und die höchste
Depositionsrate in der Branche (mindestens 100 nm/Minute) mit der
Direktplasmamethode erzielt wird. Darüber hinaus erzielt der
Inline-Hochgeschwindigkeits-Transportmechanismus einen Durchsatz von
über 1.700 Wafern pro Stunde und damit einen höheren Wert als in jedem
anderen herkömmlichen System in dieser Klasse, und trägt damit zu einer
höheren Produktionskapazität der gesamten Fertigungsstraße bei.
3. Niedrigere Kosten
Das System stellt nicht nur
Hochgeschwindigkeits-Deposition und kompaktes Systemdesign über
vertikale Substrataufladung her, sondern reduziert auch die
Instandhaltungs- und Wartungskosten, da die Zeiträume zwischen den
Wartungsarbeiten verlängert werden, die Energieverbrauch gegenüber
früheren Systemen auf ein Drittel gesenkt und die Betriebskosten
halbiert wurden. Damit handelt es sich um ein energiesparendes
Fertigungssystem, das die sich aus der Solarzellenfertigung ergebenden
Energiekosten reduziert und die Effizienz der Quellgasverwendung
steigert.
[Merkmale von SCI-8SM]
1. Simultane schnelle Inspektionen der Mikrorisse und des Äußeren des
Wafers
Das SCI-8SM-Inspektionssystem ist ein Einzelsystem, das
unterschiedliche Inspektionen und Messungen verarbeitet, die zuvor von
separaten Testinstrumenten ausgeführt wurden, einschließlich der
Mikrorissinspektionen (feine Risse im Wafer, die die
Konvertierungseffizienz und Rissrate während der Produktion
beeinträchtigen), externe Waferinspektionen auf Risse oder Beulen,
Inspektionen auf Partikel auf der Antireflex-Beschichtung, der
Filmstärke und der Verteilungsmessung. Es ermöglicht sehr kurze
Messzeiten von weniger als einer Sekunde pro Wafer.
2. Schnellere Messungen der Filmstärke
Herkömmliche
Instrumente verwendeten mehrere Standardproben zum Ausführen von
Messungen der Filmstärke. Hierzu waren mehr als fünf Stunden
Vorbereitungszeit erforderlich, bevor die Messungen beginnen konnten,
einschließlich der Herstellung der Kalibrierungskurve. SCI-8SM setzt
Berechnungstechniken ein, die gemäß einem eindeutigen Messprinzip auf
der Grundlage optischer Theorie entwickelt wurde und die eine schnelle
Berechnung der Filmstärke mithilfe der Reflexionsintensität sichtbaren
Lichts ermöglicht. Dieses Merkmal ermöglicht sofortige Messungen, ohne
dass eine Vorbereitungszeit erforderlich wäre.
[Merkmale von SCI-8S]
Kompaktestes Instrument der Branche
Ein einzigartiges,
speziell entwickeltes optisches System, das die Aberration minimiert,
den gleichen hohen Funktionsumfang wie das SCI-8SM bietet, jedoch um
15 Prozent kompakter (nach Volumen) als herkömmliche Instrumente seiner
Klasse ist. Es ist das kompakteste Außeninspektionssystem in der Branche.
Es
kann in einer neuen Fertigungsstraße installiert oder in beschränktem
Raum auf einer bestehenden Fertigungsstraße nachgerüstet werden, um die
Waferqualität zu verbessern.
Namen: | ||
MCXS-Plasma-CVD-System für die Deposition der Antireflex-Beschichtung auf kristallinen Siliziumsolarzellen | ||
SCI-8SM Verbundsstoff-Inspektionssystem für kristalline Siliziumsolarzellen | ||
SCI-8S Außeninspektionssystem für kristalline Siliziumsolarzellen | ||
Preise: | ||
MCXS | 170 Millionen Yen (einschließlich automatischem Transportmechanismus, zuzüglich Steuer) | |
SCI-8SM | 10 Millionen Yen (einschließlich Beleuchtungs-Netzanschluss, zuzüglich Steuer) | |
SCI-8S | 5 Millionen Yen (einschließlich Beleuchtungs-Netzanschluss, zuzüglich Steuer) | |
Abmessungen: | ||
MCXS | B 4.000 x T 7.500 x H 2.500 mm (Haupteinheit, einschließlich automatischem Transportmechanismus) | |
SCI-8SM | B 306 x T 310 x H 951 mm (Haupteinheit, einschließlich Beleuchtung-Netzanschluss) | |
SCI-8S | B 193 x T 193 x H 315 mm (Haupteinheit, ohne Beleuchtungs-Netzanschluss) | |
Weitere Informationen finden Sie auf der folgenden Seite: MCXS, SCI-Serie
Über die Shimadzu Corporation
Die Shimadzu Corporation wurde 1875 gegründet und gehört zu den führenden Unternehmen in der Entwicklung fortschrittlicher Technologien. Innovationen auf der Grundlage des Prinzips, über Wissenschaft und Technologie einen Beitrag zur Gesellschaft zu liefern, haben beim Unternehmen Tradition. Shimadzu verfügt über ein globales Vertriebs-, Dienstleistungs- und Servicenetzwerk sowie Anwendungszentren auf sechs Kontinenten und kann langjährige Geschäftsbeziehungen mit hochqualifizierten Distributoren in über 100 Ländern nachweisen.
Die Ausgangssprache, in der der Originaltext veröffentlicht wird, ist die offizielle und autorisierte Version. Übersetzungen werden zur besseren Verständigung mitgeliefert. Nur die Sprachversion, die im Original veröffentlicht wurde, ist rechtsgültig. Gleichen Sie deshalb Übersetzungen mit der originalen Sprachversion der Veröffentlichung ab.
Fotos/Multimedia-Galerie verfügbar unter: http://www.businesswire.com/multimedia/home/20130322005009/de/
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